掃描/透射電子顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實現(xiàn)了分辨率的進(jìn)一步提升，以嶄新的形象亮相。采用半浸沒式物鏡和照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
 

　　掃描/透射電子顯微鏡主要特點(diǎn)如下：
 

　　1.半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場，因而可以獲得超高分辨率。
 

　　2.*的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。
 

　　3.浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。
 

　　4.最佳光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方，在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。
 

　　5.柔和電子束模式(GB模式)通過給樣品施加負(fù)電壓，從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓，因此可以在低加速電壓下進(jìn)行高分辨觀察。由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小，就會容易地觀察樣品淺表面的精細(xì)結(jié)構(gòu)，能減少對熱敏樣品的損傷，可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。
 

　　6.過濾器是由二次電子控制電極、背散射電子控制電極、過濾器電極組合而成的*的能量過濾器。當(dāng)電子束照射樣品時，從樣品表面會釋放出各種能量的電子。過濾器通過組合多個靜電場使電子束保持在透鏡系統(tǒng)的中央，同時還對樣品中產(chǎn)生的二次樣品和背散射電子進(jìn)行選擇和檢測。
 

　　7.掃描/透射電子顯微鏡LABE檢測器能檢測低角度背散射電子。在低加速電壓下對樣品表面精細(xì)的形貌信息、在高加速電壓下對樣品的組分信息都能進(jìn)行高分辨觀察。